气体质量流量传感器在等离子体的流量控制应用方案

工采网 · 发表于 2023-10-11 14:40:31

冷等离子体是等离子体的一种近似模型。是指它假定等离子体的温度为零,用来讨论热效应可以忽略的物理过程。冷等离子体，有时被称为非热等离子体或非平衡等离子体，是一种特殊类型的等离子体。因为离子和电子的离子化和复合是连续发生的，等离子体发出美丽的光。因此，等离子体也被称为物质的第四状态，构成了宇宙中99%的质量，包括恒星和闪电。下面工采网小编和大家一起看看在等离子体的流量控制应用方案。

等离子体工艺中会使用等离子体反应器。气体流量、蒸汽流量和压力在等离子体反应器中起着重要作用。进入反应器的气体流量和压力控制由流量控制器和压力控制器调节。流量控制器控制进入反应室的气体流量，在反应室气体被激发成等离子体，压力控制器将过量气体从反应室中排出，同时保持压力。流量控制方法是等离子体刻蚀实验中至关重要的一环。流量控制方法的选用取决于刻蚀过程中气体的要求、设备的性能和实验的目标。常用的流量控制方法有几种。

一种常见的流量控制方法是使用质量流量控制器（MFC)。MFC使用传感器来测量气体流量，并通过控制阀门调整气体的流量。MFC能够精确地控制气体的流量，并具有较高的稳定性和可重复性。因此，在等离子体刻蚀实验中，使用MFC可以确保所需的刻蚀气体流量的精确控制。

另一种常用的流量控制方法是使用流量调节阀。流量调节阀通过调整阀门开度来控制气体的流量。与MFC相比，流量调节阀的控制精度较低，但它具有简单、易操作的特点，适用于一些对流量控制要求不太严格的实验。

此外，还有一种流量控制方法是采用流量计和手动调节阀结合的方式。此方法通过读取流量计的显示值，然后手动调整阀门的开度，从而实现对流量的控制。

气体流量传感器对流过传感器的空气、氧气或其他的气体有灵敏和快速的反应，并且在在很小的流量下有较高的准确性，同时具有在大的流量下很好的重复性和很低的滞后性。随着等离子行业的快速发展，热式气体质量流量控制器在各种等离子设备中广泛使用，主要作用是准确的控制和调节气体的进气流量，等离子设备中需要注入和填充的混合气体，以保证更好的产品性能，就需要更高精度和稳定性好的流量控制器。

采用IST流量传感器可以为MFC产品带来足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。其次薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。易于校准，简化生产过程。工采网提供的瑞士IST热质量流量传感器–FS7是FS5流量传感器的后续产品，采用对称的加热器设计，具有增强的灵敏度。FS7流量传感器适合用于气体应用，具有出色的长期稳定性。FS7传感器的热质量小因此响应时间短。此外，标准FS7传感器还配备罩壳，从而方便用于各种不同应用。