如何实现气体质量流量控制器中气体流量的精确测量和控制

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近年来国内对过程控制行业节能环保的要求不断提高，越来越多的指标，已经从粗略估算发展到需要定量分析，很多原料、排量需要得到高精度的计量与控制。适用于多种应用场合的气体质量流量控制器是高校科研院所和广泛的工业过程自动化控制中不可缺少的设备。

气体质量流量控制器是通过调节阀门大小开度来进行控制气体流量大小的专用阀门，用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，其性能指标的好坏直接影响到气体流量控制精密度和准确度，进而影响整机分析结果的准确性和可靠性，为此监测气体质量流量控制器中的流量变化十分有必要。

作为工业计量中重要的元器件，气体质量流量计/控制器目前仍以进口为主，国产化替代需求迫切。不同于传统的差压、涡街等原理的体积型流量计，MEMS气体质量流量计是采用热扩散原理进行高精确测量，即使是微小气体也能精确测量，在全球被广泛使用。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而相对于FS5.0.1L.195而言IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有良好的长期稳定性。关于气体质量流量控制器中流量传感器的应用可参考《在质量流量控制器的应用中IST流量传感器的作用》一文。